1

16-28寸坩埚

密度              ≥1.10 g/cm3

灰分含量          ≤200ppm

抗弯强度          ≥60 MPa

热膨胀系数        ≤2.0*10-6/K

2

16-28外导流筒

3

16-28中保温筒

4

16-28上保温筒

5

16-28下保温筒

压缩强度          ≥80 MPa

注：我公司生产单晶硅生长炉所用炭炭材料均可以做成不同密度、不同形状热场件，根据客户需求进行制作。我公司所生产的碳/碳热场件已广泛应用于某光伏、半导体企业。

6

主电极

7

加热器螺栓

8

下保温盖

9

支撑环